在追求高精度、低检出限的小分子气体分析领域，仪器的硬件基底决定了数据的上限。安益谱推出的RGA6500小分子气体分析质谱仪，以全金属不锈钢腔体为核心，结合高温烘烤与高性能无油真空技术，为半导体、真空镀膜、科研及工业过程控制等领域提供了坚实可靠的分析解决方案。

安益谱小分子质谱仪RGA 6500

核心优势：极致的洁净与稳定

• 全金属耐高温腔体： RGA6500采用优质不锈钢材质打造质谱腔体，不仅保证了结构的坚固耐用，更支持最高200℃的高温烘烤。这一设计能够有效去除腔体内壁吸附的水汽及各类残留污染物，显著降低本底噪音，为超痕量气体分析创造极致洁净的环境。

• 无污染高真空系统： 设备采用无油隔膜泵作为前级泵，从源头上杜绝了油蒸气回流对真空腔体的污染，确保分析结果的纯净度。结合高性能涡轮分子泵，能够迅速建立起高真空环境，满足四极杆质谱稳定工作所需的苛刻真空条件。

• 实时真空监测： 标配全量程真空规，支持用户实时掌握仪器内部的真空状态。无论是开机启动还是长期监测，都能确保仪器始终处于最佳工作窗口，保障数据的准确性与重现性。

安益谱RGA6500以其扎实的材料工艺与卓越的真空设计，正成为小分子气体分析的理想选择。

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